しかしながらまだまだ大口径化は難しく、小さなサンプルで研究開発を進められているのが現状です。 高精度が必要だがサンプルも小さいのでシート抵抗を測定するのも大変 と苦労されている研究者、SiC基板を製作しているメーカーさまに朗報です。
KITEC社(ドイツ)の非接触式シート抵抗測定装置 M-RES2019は(*)渦電流の原理を利用した測定装置です。
(*)渦電流 : http://www.msolarsys.co.jp/otherprod/mems.html
この度国内某大手メーカーの研究所で採用していただきました。
特 長
1. ステージにサンプルを載せ、レバーで測定ポイントまで移動するだけの簡単操作でサンプルの厚み(Thickness)、シート抵抗(Ohm/sq)、比抵抗(Ohm cm)を測定します。
2. １５mm以上のサンプルから測定でき、研究用にも最適な測定装置です。
3. 非接触のためサンプルを傷つけずに測定することができます。
4. 手動マッピングソフト付属
M-RES2019 本体
手動レバー
簡易マッピング手入力画面
簡易マッピング可視化画面
記)
シート抵抗 (英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる
電気抵抗率（でんきていこうりつ、英語：electrical resistivity）は、どんな材料が電気を通しにくいかを比較するために、用いられる物性値である。単に、抵抗率（resistivity）、比抵抗（specific electrical resistance）とも呼ばれる。単位は、オームメートル（Ω･m）である。慣例的に Ω･cm もよく使われる。
ウィキペデイアより
関連リンク
KITEC社製 非接触式シート抵抗測定器(& 比抵抗測定)、M RES-2000 の優位性について
http://msolarsys.blogspot.jp/2015/03/kitec.html
詳細カタログをご希望の方は下記までご連絡ください。
エム･ソーラーシステム株式会社
Mail : info@msolarsys.co.jp
